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派勒 JL-CMP56 超精密半导体智能研磨抛光机

技术数据表由 派勒智能 提供并授权发布

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产品信息 Product

产品分类
  • 涂料生产和涂装设备 > 涂料一体化设备 > 一体化涂料设备

性能特点

应用领域:半导体材料、光学材料、蓝宝石材料、陶瓷材料、硅、锗等材料多片式或大片式晶圆的研磨和抛光。
通过新型整机布局集成超精密磨削、CMP及后清洗工艺,配置先进的厚度偏差与表面缺陷控制技术,提供多种系统功能扩展选项,具有高精度、高刚性、工艺开发灵活等优点。

生产商信息 Manufacturer

  • 生产商 广东派勒智能纳米科技股份有限公司
  • 产品品牌 派勒
  • 产品型号 JL-CMP56
  • 产地 广东广州

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